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勻膠機(jī)的主要介紹

更新時(shí)間:2021-03-16點(diǎn)擊次數(shù):1362

勻膠機(jī)是在速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。

主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種作方式。

送片盒中的晶片,自動(dòng)送到承片臺(tái)上,用真空吸附,在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間,轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等藝參數(shù)均可通過(guò)編程控制。

勻膠機(jī)有個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,出現(xiàn)了滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm,同晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,并有流量計(jì)行恒量控制。對(duì)涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊能,去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤位,有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱,微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過(guò)程在密封的爐子中行,通過(guò)抽真空排除揮發(fā)出來(lái)的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后,將晶片送入收片盒內(nèi)。

選購(gòu)巧
從其原理來(lái)說(shuō),可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)

旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
真空泵定要無(wú)油的

材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對(duì)于各類(lèi)化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對(duì)于較溫度和壓力下產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà),將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。

TEL:15811023934

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